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【13.5nm光源系统被攻破！】
【蓝河科技。】
【盛明安&13.5nm光刻机。】
【盛明安扬言年底完成13.5nmeuv样机验收！】
【cstic版本‘华山论剑’。】
【高通发布14nm骁龙820芯片,性能直迫i7？】
报道于凌晨出来，整个半导体圈都沸腾了。
国内国外翘首展望蓝河科技的下一步动作，有人分析蓝河科技攻破的13.5nm光源系统技术,毫无疑问,现在没有哪家光刻机研发公司的光源系统超过了蓝河科技。
但光刻机的子系统不止多而且组装复杂,asml就曾直言就算卖给华国一台14nmeuv，在不安装自毁系统的前提下，任由他们拆卸,他们也绝对组装不起来。
不是asml目下无尘，而是光刻机组装确实难。
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